導(dǎo)語：隨著加工確定性更高的磁流變、離子束等拋光技術(shù)引入到光學(xué)加工領(lǐng)域，極大的提升了光學(xué)加工的確定性和準(zhǔn)確性。今天我們重點(diǎn)來看下離子束拋光技術(shù)。

離子束拋光

隨著科學(xué)技術(shù)發(fā)展進(jìn)步，光學(xué)加工的手段不斷演化。光學(xué)表面的加工方法從范成法、修帶法、應(yīng)力加工法等效率低、精度差的傳統(tǒng)方法，發(fā)展到基于計(jì)算機(jī)技術(shù)與激光干涉技術(shù)的計(jì)算機(jī)表面成形技術(shù)，光學(xué)加工效率與加工精度得到了大幅度提升。加工確定性更高的離子束拋光法也被引入到光學(xué)加工領(lǐng)域中，進(jìn)一步提升了光學(xué)加工的確定性和準(zhǔn)確性。

離子束拋光法由Wilson和Reicher等人首先于1988年提出，是一種從原理上區(qū)別于傳統(tǒng)光學(xué)加工方法的技術(shù)手段。物理上把物質(zhì)存在的狀態(tài)劃分為固體、液體和氣體，物質(zhì)可以通過吸收或釋放能量在三種狀態(tài)中相互轉(zhuǎn)化。當(dāng)物質(zhì)處于氣體狀態(tài)后若進(jìn)一步吸收能量則可以被激發(fā)成為等離子體，因此等離子體又被稱為物質(zhì)的第四種狀態(tài)。離子束拋光法利用了物質(zhì)的第四種狀態(tài)，即等離子體實(shí)現(xiàn)材料去除。

-離子束拋光原理示意圖-

離子束拋光機(jī)

離子束拋光對(duì)于光學(xué)加工領(lǐng)域是一個(gè)關(guān)鍵突破，實(shí)現(xiàn)了從接觸式材料去除到非接觸式材料去除的跨域，從原理上能夠?qū)崿F(xiàn)原子量級(jí)的材料去除，為光學(xué)加工帶來了新的可能與應(yīng)用。

美國Kodak公司于20世紀(jì)80年代開始進(jìn)行離子束拋光的相關(guān)研究，并自行組建了具有2500mm口徑加工能力的離子束拋光機(jī)。這也是報(bào)道中的離子束拋光第一次用于大口徑離軸非球面的加工，對(duì)于離子束拋光法在光學(xué)加工領(lǐng)域中的應(yīng)用具有重要意義。

德國NTG公司與德國IOM研究所合作推出的離子束拋光機(jī)同樣具有非球面光學(xué)元件的拋光能力，該公司推出的離子束拋光機(jī)最大加工口徑達(dá)到2000mm。

-離子束拋光去除函數(shù)示意圖-

除了用于普通成像系統(tǒng)的鏡面拋光外，離子束拋光也被應(yīng)用到對(duì)加工精度具有更高要求的光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)的精密拋光過程中，德國Zeiss公司通過調(diào)整離子束拋光去除函數(shù)的尺寸與離子能量等參數(shù)，準(zhǔn)確控制去除精度，實(shí)現(xiàn)了極紫外光刻物鏡的拋光，并取得理想效果。

與此同時(shí)，國內(nèi)的離子束拋光機(jī)研發(fā)也取得了不錯(cuò)的進(jìn)展。卓精藝聯(lián)合工匠實(shí)創(chuàng)自主研發(fā)的離子束拋光機(jī)，具有非接觸、亞納米材料去除分辨率、高穩(wěn)定性、自由曲面加工等技術(shù)特色，同時(shí)還具有更低濺射污染、更低使用成本、更高生產(chǎn)效率、更加智能化等優(yōu)勢。

-提供離子束拋光機(jī)成套設(shè)備和工藝軟件-

卓精藝，專注于提供前沿性的高品質(zhì)超精密光學(xué)智能拋光裝備制造（小磨頭、磁流變、離子束、超光滑）、光學(xué)材料、光機(jī)電定制產(chǎn)品、高精度復(fù)雜光學(xué)元件加工制造與檢測、先進(jìn)工藝技術(shù)方案及轉(zhuǎn)讓、國際技術(shù)合作等服務(wù)，服務(wù)于國防、安防、科研等應(yīng)用領(lǐng)域，為客戶提供中高端光學(xué)系統(tǒng)的產(chǎn)品和解決方案。如果您對(duì)我們感興趣，歡迎來電咨詢！