上一篇文章我們介紹了離子束拋光的去除函數(shù)，今天卓精藝帶大家來(lái)看看具體的驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。

驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)

采用K9、熔石英玻璃開(kāi)展了多次面形實(shí)驗(yàn)，平均收斂率達(dá)50%以上，體現(xiàn)了離子束拋光確定性高、快速收斂的優(yōu)點(diǎn)。其中，φ170 mm的石英試件兩次加工后，88%(φ150 mm)范圍內(nèi)，PV值從0.1372(1=632.8 nm)收斂到0.0292, RMS值從0.0282收斂到0.0052,收斂效果顯著，如下圖所示。

-φ170 mm石英玻璃加工前后面形精度比較-

59%(φ100 mm)范圍內(nèi)，PV值從0.0542收斂到0.0162 (<1V62) ，RMS值從0.0142收斂到0.0022,達(dá)到了課題標(biāo)的要求。粗糙度(R)方面，通過(guò)多次正交實(shí)驗(yàn)，研究了入射角、束壓、束流、氬氣流量對(duì)粗糙度的影響規(guī)律。對(duì)φ50 mm的石英試件進(jìn)行粗糙度修整加工后，R。值從1.353 nm減小到0.545 nm，如下圖所示。

-石英玻璃加工前后粗糙度-

總結(jié)展望

基于離子束濺射效應(yīng)的離子束拋光技術(shù)，是超精密加工工藝體系中的重要一環(huán)。其利用惰性氣體電離形成的離子轟擊工件，產(chǎn)生特定的濺射現(xiàn)象，從而進(jìn)行原子、分子加工單位的微量加工，相比其他CCOS拋光技術(shù)，具有加工單位小、無(wú)接觸應(yīng)力、去除函數(shù)可控性強(qiáng)、無(wú)材料選擇性等突出優(yōu)點(diǎn)。

因此，離子束拋光技術(shù)在超精密光學(xué)加工領(lǐng)域，特別是ICF高功率固體激光系統(tǒng)所需大口徑輕薄光學(xué)元件的無(wú)邊緣效應(yīng)高精度高效加工、光刻機(jī)透鏡組的超高精度加工等重大科學(xué)工程應(yīng)用中具有舉足輕重的意義。

在后續(xù)的工作中，為了使該設(shè)備在光學(xué)元件的超精密超光滑加工領(lǐng)域中能夠有效、穩(wěn)定、可靠地得到工程化應(yīng)用，將結(jié)合工藝實(shí)驗(yàn)重點(diǎn)加強(qiáng)兩個(gè)方面的研究?jī)?nèi)容:一是通過(guò)改進(jìn)離子光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)一步優(yōu)化去除函數(shù)的形態(tài)及去除效率；二是優(yōu)化離子束拋光工藝參數(shù)并完善工藝軟件核心算法,進(jìn)一步提升離子束拋光工藝精度和加工收斂速度。

-藍(lán)寶石離子束高精度修形-

卓精藝，專注于提供前沿性的高品質(zhì)超精密光學(xué)智能拋光裝備制造（小磨頭、磁流變、離子束、超光滑）、光學(xué)材料、光機(jī)電定制產(chǎn)品、高精度復(fù)雜光學(xué)元件加工制造與檢測(cè)、先進(jìn)工藝技術(shù)方案及轉(zhuǎn)讓、國(guó)際技術(shù)合作等服務(wù)，服務(wù)于國(guó)防、安防、科研等應(yīng)用領(lǐng)域，為客戶提供中高端光學(xué)系統(tǒng)的產(chǎn)品和解決方案。如果您對(duì)我們感興趣，歡迎來(lái)電咨詢！